自転式スピンドライヤー(遠心乾燥機) SPD-180
特徴・用途
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡
遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡
主な仕様
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|---|
| 駆動エアー | 0.3Mpa (3Kg/cm2) |
| 最大処理量 | 8インチ×25枚キャリア 1キャリア |
| ULPAフィルタ | 有 |
| イオナイザ | 有 |
| 制御 | PLC・インバータ |
| 操作部 | タッチパネル |
| 運転レシピ登録数 | 5種類 |
| 回転数 | 3,500rpm (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm) |
| モータ | インバータモータ |
| 寸法 | 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm |
| 重量 | 110Kg |
※他にも8インチまで対応の装置､手動機､自動機などのラインナップがございます｡
半導体以外の用途でも､お気軽にご相談下さい｡
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